设备运维与优化

• 负责碳化硅关键生产设备（如MOCVD、高温退火炉、单晶生长炉、光刻机、刻蚀机）的日常维护、校准及性能优化，确保设备稳定运行。

• 制定设备维护计划（PM），减少宕机时间，提升设备稼动率（OEE）。

工艺支持与故障处理

• 配合工艺团队调试设备参数，解决SiC外延生长、离子注入、高温氧化等工艺中的设备相关问题。

• 快速诊断设备异常（如温度漂移、真空泄漏、气体流量异常），提出根因分析及解决方案。

新设备导入与改造

• 参与新设备选型、安装调试及验收，制定标准操作流程（SOP）和培训文件。

• 主导设备升级改造（如自动化集成、能耗优化），提升生产效率和良率。

生产支持与良率提升

• 监控设备运行数据（如SPC），分析设备对晶圆良率的影响，提出改进方案。

• 配合生产部门制定设备应急预案，确保量产稳定性。

合规与安全管理

• 确保设备操作符合EHS规范（如化学品管理、废气处理、高温高压安全）。

• 维护设备相关文档（如维修记录、备件清单），满足ISO/SEMI标准要求。