北京烁科中科信电子装备有限公司

北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，以中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。公司产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束流、高能机、定制机、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有20余台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线，12英寸晶圆量产超500万片，工艺段覆盖至28nm，定制注入机和化合物半导体注入机出货几十台公司离子注入机团队近300人，硕士以上学历占38%。公司已申请近395项发明专利，获得授权68项,具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质。北京烁科中科信电子装备有限公司是国内唯一一家产品门类齐全，集研发、制造、服务于一体的集成电路领域离子注入机供应商，公司的目标是将来成为国际一流的集成电路装备供应商和服务商。