北京烁科中科信电子装备有限公司

北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，以中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的企业。公司总部位于北京市北京经济开发区(通州)兴光二街六号，在长沙设有分公司。烁科中科信产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。 烁科中科信目前累计获得授权专利87项，团队现有人员600余人，硕士以上学历占20%以上。公司是高新技术企业、第五批专精特新“小巨人”企业，“大束流离子注入机项目”获得“北京市科技进步一等奖”，大束流离子注入机入选《中央企业科技创新成果推荐目录(2022年版)》。2024年初，国产离子注入机代表中国电科成功进入“2023年度央企十大国之重器”榜单，综合排名第三位，公司也成功入选国资委首批启航企业。 北京烁科中科信电子装备有限公司是产品门类齐全的集研发、制造、服务于一体的集成电路领域离子注入机供应商。