半导体激光加工工艺工程师岗位职责
岗位核心价值:
负责半导体材料(如硅、 SiC 金刚石 等)及器件的激光加工工艺开发、优化与稳定化,解决生产过程中的技术问题,确保产品质量、良率和效率,推动新工艺、新技术的导入和应用。
一、 工艺开发与优化
1.新工艺开发: 负责新型激光加工工艺(如激光划片、激光退火、激光钻孔、激光修调、激光剥离、激光改性等)的可行性研究、方案设计和技术开发。
2.参数优化: 通过设计实验(DOE),系统性地优化激光工艺参数(如波长、功率、脉宽、重复频率、扫描速度、光斑形态等),以达到最佳加工效果(如切割质量、热影响区、电阻特性等)。
3.技术攻关: 解决工艺开发中遇到的关键技术难题,如裂纹控制、污染控制、材料损伤、精度提升等。
4.新材料评估: 参与对新引入的半导体材料进行激光加工适用性评估,并制定相应的加工工艺方案。
二、 生产支持与维护
1.工艺流程制定: 编写和维护激光加工工艺的作业指导书、标准操作规程等工艺文件。
2.日常监控: 监控生产线激光设备的工艺稳定性,定期检查关键工艺参数,确保生产持续符合规格要求。
3.良率提升: 分析生产良率数据,定位激光加工环节的失效模式,制定并实施改进措施,持续提升产品良率和效率。
4.异常处理: 快速响应并解决生产线上出现的激光工艺相关异常,减少停机时间,确保生产计划的顺利进行。
三、 设备与工具管理
1.设备选型与导入: 参与新激光加工设备的评估、选型、技术谈判和导入工作。
2.设备维护与校准: 与设备工程师协作,制定激光设备的预防性维护和校准计划,并参与关键部件的维护和故障诊断。
3.工装夹具设计: 根据工艺需求,设计或优化激光加工所需的工装、夹具,以提升加工精度和一致性。
四、 检测与数据分析
1.质量检测: 熟练使用各种检测设备(如光学显微镜、SEM、EDS、探针台、轮廓仪等)对激光加工后的样品进行表征和分析,评估加工质量。
2.数据分析: 运用统计过程控制(SPC)等工具,对工艺数据进行分析,识别工艺波动趋势,实现过程的预测性控制。
3.报告撰写: 撰写工艺实验报告、良率分析报告和技术总结报告,清晰呈现数据、分析和结论。
五、 跨部门协作与沟通
1.与研发团队协作: 与产品设计、器件研发团队紧密合作,理解设计意图,将激光工艺需求融入到产品设计阶段(DFM)。
2.与生产团队协作: 指导生产线操作员正确执行工艺规程,培训相关人员。
3.与质量团队协作: 配合质量部门建立和完善激光工艺的质量标准和检验规范,处理客户反馈的质量问题。
任职资格:
1.学历专业: 本科及以上学历,材料科学、物理、光学工程、微电子、机械工程等相关专业。
2.3年以上半导体行业激光加工工艺经验,有晶圆厂经验者优先。
3.熟悉常见的半导体激光加工应用及其原理。
4.知识与技能:
· 核心技能: 精通激光原理,深刻理解激光与半导体材料相互作用的机理。
· 设备操作: 有紫外激光器、超快激光器等精密激光加工设备的实际操作和经验。
· 分析能力: 熟练使用光学显微镜、SEM等分析设备进行失效分析。
· 软件工具: 熟练使用Office办公软件,掌握Minitab、JMP等数据分析软件者优先。具备CAD软件基础。
· 个人素质: 具备强烈的责任心、严谨的科学态度、优秀的问题解决能力和团队合作精神