量测系统建立与维护：

• 负责薄膜厚度（如椭偏仪）、关键尺寸（CD-SEM）、缺陷（暗场/明场缺陷检测仪）及套刻精度（Overlay）等量测设备的Recipe创建、优化与日常监控。

• 执行量测系统的日常校准、预防性维护及故障排除，确保量测机台的稳定性和数据准确性。

工艺监控与数据分析：

• 监控在线产品及测试片的量测数据，运用统计过程控制工具识别工艺漂移或异常。

• 对量测数据进行深度挖掘，建立与工艺参数的相关性模型，协助工艺工程师定位问题根源。

• 主导或参与良率提升项目，通过DOE分析关键量测参数对最终良率的影响。

新技术导入与优化：

• 配合研发部门，针对新工艺节点开发新的量测方法，解决微小化带来的量测挑战。

• 评估和引入新型量测技术或设备，提升量测精度和吞吐效率。

文档与培训：

• 撰写标准操作流程（SOP）、量测报告及技术文档。

• 培训初级技术员，确保操作规范统一。