1、主导半导体设备整机/关键复杂部件的污染控制（如颗粒污染、化学污染、材料释气等）的指标分解、方案设计及测试验证，设计相关的测试装备及测试验证方法，对整机系统的污染指标整体负责；
2、制定主动/被动抑制真空系统内颗粒物传输、化学物吸附与释放的设计方案，确保设备整机/关键部件始终满足超洁净管控要求；
3、从事精密设备中微环境控制以及真空系统设计，保证设备中关键区域的温度、压力、污染等关键环境指标的达成，实现精密设备中的超洁净真空与精密环境控制；
4、负责真空与环控领域的平台能力建设，开展行业技术趋势分析、技术合作以及参加相关行业标准会议等工作，并能够针对工作中的成果进行相关规范、数据库、专利等平台能力交付。