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MPCVD谐振腔研发工程师(微波等离子体腔体设计与工艺实现)
1-2万
西安英特斯克半导体科技有限公司
西安
5-10年
本科
12-02
工作地址

陕西省西安市未央区广运潭大道南段4555号长安大学科技园3号楼c座三层

职位描述
职位目标:

主导下一代大尺寸、高均匀性等离子体谐振腔的研发与工程化,重点解决现有设备在扩径生长(如直径≥100mm)中的等离子体分布不均、功率耦合效率低、工艺稳定性不足等核心问题,推动金刚石生长工艺发展。

核心挑战(需实际攻克的问题):
  • 大尺寸均匀性控制:如何在扩大腔体尺寸时维持等离子体均匀。

  • 高功率稳定性:在10kW~15kW功率下优化热管理及腔体耐压设计,抑制微波击穿和次生等离子体。

  • 工艺与腔体协同优化:将谐振腔设计与化学气相沉积工艺深度结合,提升金刚石生长速率与成品率。

岗位职责:
  1. 负责MPCVD谐振腔的电磁仿真、结构设计及多物理场耦合分析(电磁-热-流体),优化TM模式激励与电场分布。

  2. 主导谐振腔的工程实现。

  3. 搭建测试平台,完成冷热态参数测量,对比仿真与实测数据,迭代解决实际问题。

  4. 与工艺团队协作,将腔体性能转化为生长结果,并支持自动化腔体管理系统的技术升级。

任职要求(硬性条件):
  • 本科及以上学历,电磁场与微波技术、等离子体物理、材料工程等相关专业。

  • 3年以上MPCVD或类似微波等离子体谐振腔实战经验,具备从设计、仿真到测试、故障排查、设备量产的全流程项目案例。

  • 熟练使用CST/HFSS/COMSOL进行腔体仿真,能独立分析等离子体与电磁场的相互作用。

  • 熟悉高功率微波系统、真空工艺、冷却设计等工程环节。

以担保或任何理由索取财物,扣押证照,均涉嫌违法,请提高警惕

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