岗位职责:
1. 熟悉目前主流的高深宽比刻蚀机台;
2. 开发和改进高深宽比CAP EH(AR:45-55) 相关工艺配方,以满足工艺结构要求;
3. CAP EH patterning(SAQP) 工艺优化从而改善工艺窗口;
4. 设计和管理DOE实验,分析,提取,报告和总结,以优化关键流程并确定后续行动。
任职要求:
1. 硕士及以上学历,物理、化学、材料、微电子或其他相关理工科领域;
2. 3年以上半导体制造Dry ETCH工艺相关经验 掌握各Dry ETCH工艺特点,熟悉及深入了解蚀刻相关半导体制程与设备相关知识,具有跨部门多方面知识为佳;
3. 良好的沟通协调技巧,较佳的表达力和执行力;
4. 具有处理复杂问题能力及有效运用资源提出解决方案。