岗位职责
1.负责蚀刻机（含干泵、射频、氦漏、温度控制系统等）的紧急维修与日常故障处理
2.解决蚀刻机五大核心系统（射频/特气/真空/传送/冷却）异常问题，包括气体泄漏、冰水机冷媒故障等
3.执行设备复相关机型保养计划，完成针阀/APC阀/气动阀定期维护
5.管理备件更换BOM清单，确保保养数据准确录入系统
6.实时监测射频系统反射率/功率、机台稼动率及大颗粒污染风险
7.识别硬件潜在故障点，制定预防性维护方案
8.配合工艺部门优化设备运行稳定性
67任职要求
1.熟悉五大系统（射频/特气/真空/传送/冷却）结构原理与维修
2.熟悉干泵/氦检漏/温度控制等子系统调试，具备备件自主维修能力
3.掌握8D问题分析法、TPM维护体系及低压电工操作
67经验要求
1.3年以上半导体设备维修经验，有maxis设备移机/复机案例
2.应急响应：针对长宕机问题具备快速复机能力（≤4小时）
3.大专以上学历，机械相关专业