工作职责:
主要负责干法刻蚀工艺(DRIE、TSV、RIE)的工艺开发、工艺维护、工艺优化等工作;
1、制定开发计划,解决开发过程中的技术问题;根据图形种类及精度要求,负责相应的干法刻蚀工艺开发与优化;
2、设计执行刻蚀工艺实验,分析实验结果;
3、优化工艺参数,解决日常出现的刻蚀问题,降低质量成本,不断优化工艺;
4、人员培训,新人带教,操作员培训;
5、其他:完成领导临时交办的任务;
任职要求:
1、硕士及以上学历,微电子、集成电路、材料或化学相关专业;
2、4年以上干法刻蚀工艺经验(DRIE,TSV);
3、对新工艺开发和导入比较熟悉;曾主导完成过深硅刻蚀(DRIE)工艺,TSV工艺的开发;对样品检验较熟悉;
4、对MEMS工艺有了解;
5、工作认真负责,做事效率高,品行端正,有团队合作精神;