岗位职责:
1. 负责12寸区熔法(FZ)单晶硅棒的工艺开发与优化,包括晶体生长控制、热场设计、掺杂均匀性调整,确保单晶电阻率、氧含量等关键参数达标(如电阻率>1000Ω·cm,氧含量<1ppma)。
2. 主导区熔硅片的缺陷控制(如位错、微缺陷、COP等),优化晶格完整性,提升硅片机械强度及电学性能。
3. 制定滚磨、切片、研磨、抛光等后道加工工艺,确保硅片TTV<5μm、表面粗糙度Ra≤0.2nm,满足高端功率器件/传感器需求。
4. 设计腐蚀清洗工艺(HF/HNO3体系、RCA清洗),控制金属污染(如Fe、Cu<1E10 atoms/cm²)及颗粒(≤0.1μm)。
5. 分析生产异常(如晶体开裂、电阻率漂移),协同设备团队优化区熔炉、单晶生长控制系统,提升良率至>95%。
任职要求:
1、材料科学/半导体物理/微电子工程硕士及以上学历,5年+区熔(FZ)单晶硅工艺经验,熟悉12寸大直径硅片制备。
2、 精通**FZ单晶生长热场模拟(如CGSim、FEMAG软件),掌握掺杂(磷/硼)均匀性控制技术。
3、熟悉硅片缺陷表征手段(XRT、FTIR、LBIC等),能针对性优化工艺抑制缺陷。
4、了解功率半导体**(IGBT、MOSFET)对硅片的特殊要求(如高阻、低氧)。
5、熟悉SEMI PV22、ASTM F121等行业标准,具备SPC/FMEA分析能力。
6、熟练使用SEM、AFM、四探针测试仪等检测设备。
7、英语CET-6以上,能解读英文技术文献及客户规范。