主要职责

1、负责PVD设备整机及子系统（真空腔体、磁体、加热系统、气体分配系统等）的研发与设计优化。

2、主导真空腔体结构设计与模拟分析，确保其在工艺过程中的稳定性、均匀性与低颗粒污染表现。

3、领导磁体系统设计与优化，实现对薄膜均匀性与结晶质量的精准控制。

4、开展温场、流场、电磁场的多物理场仿真与实验验证，提升设备工艺性能与可靠性。

5、制定并执行particle控制与uniformity优化方案，推动设备在客户端达成优良的工艺指标。

6、领导技术团队进行关键技术攻关，撰写设计文档、专利与技术报告。

7、协调跨部门资源，推动研发项目按时高质量交付，并支持市场与客户技术对接。

任职要求

1、本科及以上学历，机械工程、物理、材料科学、真空工程等相关专业。

2、具有8年以上PVD设备研发经验，有国内主流半导体设备企业工作背景者优先。

3、精通PVD设备硬件架构设计，具备真空腔体结构设计与优化的深厚经验（重点要求）。

4、熟悉磁体系统（如磁控溅射磁路）设计原理与实现方法。

5、掌握温场、流场仿真分析（如CFD）与实验验证方法，能独立开展相关性能调优。

6、具备成熟的particle控制与薄膜均匀性（uniformity）提升经验，熟悉相关检测与分析方法。