职位描述
1.负责跟踪行业材料发展及工艺(MPCVD)水平,根据客户需求进行设备工艺开发、工艺实现及优化提升。
2.熟悉金刚石化学气相沉积(CVD)工艺,包括气体配比(CH₄/H₂/O₂等)、温度控制(800~1200°C)、压力调节等参数优化。
3.了解金刚石成核、生长机制,单晶/多晶金刚石外延的工艺差异。
4.掌握金刚石薄膜缺陷(晶界、位错、杂质)的抑制方法,如基板预处理、缓冲层技术等。
5.熟悉原位监测技术(如激光干涉仪、光谱分析)实时调控生长过程。
6.负责开展半导体材料生长原理与技术研究,通过仿真分析及工艺改进指导设备结构开发及性能提升,负责专业领域的工艺文件编制。
7.参与支撑相关专业领域的项目申请、实施及验收工作,支撑横向市场开拓。
8.支撑国家第三代半导体技术创新中心(湖南)相关技术工作的开展。
9.完成领导交办的其他工作。
以担保或任何理由索取财物,扣押证照,均涉嫌违法,请提高警惕