1.光刻ASML曝光机备日常保养维护, 故障排除, 分析参数以预判机台效能与质量
2. 配合工艺需求，提升机台品质与可靠度及产品良率
3.SPC与FDC稳定维持与改善
4. 配合轮班作业及团队协作
5.光刻设备产能相关优化及成本降低方案规划与执行
6.光刻设备现场安装协调
7.光刻设备标准操作程序及教育训练教材的撰写