岗位职责:
1. 构建与设定 CD/OVL/THK/OCD/AFM/XPS 等量测设备的Recipe。
2. 诊断并排除在线量测异常,包括生产线突发异常、SPC报表异常等。
3. 维持与优化设备稳定性与可靠性。
4. 操作MSA系统并执行审核作业。
5. 处理PFA/TEM实验申请及报告解读
任职要求:
1. 本科及以上学历,光学、数学、 微电子、材料、物理、化学等理工类专业。
2. 3年及以上半导体行业工作经验 (MET/PI/Defect/YE/Module 均可)
3. 有量测机台Recipe setup经验,熟悉PV2E、EP5、OVL/CD/Thickness/X-Ray或OCD/AFM等设备者优先
4. 熟悉MSA系统、SPC与审核流程
5. 良好的英文读写能力。