1、确保光刻相关工艺的稳定，熟练操作工艺设备并处理工艺异常；
2、负责拟定光刻工艺开发计划，开发流程及新工艺验证标准；
3，负责光刻机及光刻相关设备的安装调试、验收、异常处理和日常维护；
4，监控产品数据、良率等，及时调整以保证产品质量；
5，配合研发部门进行新技术研发，完成研发部门的新技术转移工作；
6，制定工艺规范文件，对技术员/操作人员技能培训；
7，光刻区事务管理以及完成上级安排的其它事宜。