1、 MEMS技术调研与技术预研，技术报告、论文、专利撰写，确定MEMS工艺技术路线；

2、 参与MEMS压力传感器、MEMS加速度传感器的设计工作；

3、 MEMS器件的工艺路线开发和单步工艺开发和优化，指导MEMS工艺助理工程师完成工艺实验；

4、 对工艺流程中的问题进行追踪、分析和改进；

5、 负责MEMS工艺流程的制定，工艺体系文件和作业指导书的撰写；

6、 负责与MEMS晶圆代工厂进行工艺实验、流片代工、测试验证等技术对接，评估量产能力；

7、 参与流片后MEMS晶圆的测试、失效分析和工艺改进工作；

8、 参与MEMS工艺线的规划、建设与维护。

9、 配合进行项目申请、奖项申报和体系认证等工作；

10、 完成领导安排的其他工作。