职责描述:
1. 12寸KrF, ArF涂胶显影TRACK设备工艺研发、测试与验证;
2. 协助新研发Track设备工艺指标以及相关硬件规格和标准制定;
3. 参与新研设备方案设计,协助机械设计部门评估硬件设计方案,配合软件、电气部门优化逻辑控制;
4. 制定新研设备工艺验证方案与计划,负责工艺优化与设备CIP,整理测试结果和报告;
5. 负责设备Inhouse与Infiled测试与验证,完成和完善checksheet标准doccument;
6. 协助和参与客户端服务团队新设备工艺验证,产品验证, 新工艺研发和应用拓展,解决设备验证和量产过程中出现的工艺问题,并持续优化改进;
7. 执行工艺部门安排的工作内容和计划,确保各项计划和目标按时完成。
任职要求:
1. 本科及以上学历;
2. 3年及以上逻辑,DRAM,3D NAND Fab光刻工艺工作经验者优先;
3. 熟悉光刻工艺流程,熟悉KrF/ArF Track设备与工艺,参与过新设备调试与产品验证,熟悉Track工艺菜单编辑;了解常用检测设备类型及相关使用方法;
4. 具有团队合作精神;协调沟通能力强;
5. 能接受出差;