职位描述
岗位职责:
- 负责半导体行业制造中离子注入工艺的开发、优化及维护,确保工艺稳定性和良率提升。
- 制定离子注入工艺参数(能量、剂量、角度等),完成DOE实验设计并分析数据,解决工艺异常问题。
- 与设备工程师协作,完成离子注入机的日常维护、校准及故障排查,提高设备利用率。
- 参与新工艺、新材料的导入和验证,支持客户技术需求及量产转移。
- 编写工艺规范、操作指南及技术报告,确保符合ISO/TS16949等质量管理体系要求。
- 协同整合、光刻、刻蚀等团队解决跨部门技术问题,推动工艺整合优化。
- 跟踪行业技术动态,提出工艺改进方案,降低生产成本并提升效率。
任职要求
教育背景:
- 本科及以上学历,微电子、材料科学、物理、化学工程或相关专业。
经验要求:
- 3年以上半导体离子注入工艺相关经验。
- 熟悉主流离子注入设备(如Applied Materials, Axcelis等)及工艺原理。
- 有FinFET、GAA等先进制程经验者优先。
技能要求:
- 精通半导体掺杂工艺、缺陷分析及电性参数调试。
- 熟练使用SEM、TEM、SIMS等分析工具及数据分析软件(JMP、Minitab等)。
- 具备扎实的问题解决能力(8D/FMEA)和实验设计(DOE)经验。
- 良好的英文读写能力,能阅读技术文献并与国际团队沟通。
以担保或任何理由索取财物,扣押证照,均涉嫌违法,请提高警惕