岗位职责:
1. 重点负责AMAT MIRRA MESA CMP设备机台与国产CMP设备机台日常维护与保养、零部件Parts更换以及故障排查,熟练掌握CMP设备、硬件Parts、软件操作系统与耗材(包括PAD、Slurry等)知识;
2. 重点负责建立和更新优化CMP生产设备监控系统,设备故障及时分析及修复,持续提高机台稳定性;
3. 撰写和更新CMP相关SOP规范与专利等,对组内技术人员和生产操作人员所需的CMP机台操作培训;
4. 统筹负责CMP&GRIND设备EE工作事项;根据工作需要,主动学习减薄GRIND设备&切边设备维护与保养,拥有减薄或切边设备工作经验更优;
5. 负责CMP机台安装、移机、改善以及机台WPH产能提升;负责CMP新产品耗材评估与验证,根据需要推进国产化(设备/材料)验证;
6. 与组内工艺工程师协同合作、与其他部门(如厂务、制造、整合、良率等)及外部厂商协同合作,维护好CMP设备工艺作业稳定、安全生产和异常报警处理等;
7. 工厂6S、TPM执行,参与有害物质风险评估工作;
8. 落实执行上级交办的其它工作事项。
任职资格:
1. 本科或硕士学历,机械、材料、微电子或其它理工科等相关专业背景;
2. 本科拥有5年及以上、硕士拥有4年及以上FAB CMP EE工作经验,量产FAB工作经验更优;
3. 要求必须掌握AMAT MIRRA MESA CMP机台设备或EBARA CMP机台设备两种之一设备工程师工作经验,拥有多种CMP机台设备经验更优。