EMC正向设计

• 主导CMP设备（含电机驱动、精密控制系统、气液路模块）的EMC架构设计，制定PCB布局、线缆屏蔽、接地策略及滤波器选型方案。

• 优化高速信号（如传感器反馈、通信总线）的完整性（SI）与电源完整性（PI），降低辐射干扰。

仿真与测试验证

• 使用CST/HFSS等工具仿真关键部件的电磁场分布，预判风险并迭代设计。

• 主导预测试（Pre-compliance）及正式认证测试（CE/FCC/IEC 61326-3-1/SEMI E33等），分析失效根因并推动整改。

跨部门协同

• 与机械、电气、固件团队合作，将EMC约束集成到整机设计中（如屏蔽腔体结构、滤波器布局空间）。

• 支持客户工厂EMC问题排查（如设备间干扰、晶圆良率异常分析）。