1、根据制定的生产设备维护计划和上级安排，按时规范的完成各项维护计划；
2、负责生产设备点检工作，发现问题及时处理；
3、配合生产做好现场维修服务工作，确保设备正常运行；
4、负责对PECVD工序设备故障的原因进行统计、分析，提出纠正措施，降低设备的故障率；
5、负责对PECVD工序的技术员进行培训，考核；