职位描述
一、任职要求:
1.学历:硕士及以上学历,微电子、光学工程、物理、材料等相关专业。
2.工作经验:
1)5 年以上半导体工艺整合/研发经验,必须具备 12 英寸晶圆厂 40nm 及以下节点实战经验。
2)至少主导过 Contact/Via/Hole 模块中任一环节的工艺开发(OPC、光刻、刻蚀、ALD 填充、
CMP)。
3)熟练使用检测分析工具:SEM/TEM 剖面分析、EDX 成分检测、缺陷扫描(KLA)等。
4)有 OPC/DUV immersion 工艺经验者优先考虑。
3.具备能力:
1) 具备 DOE 设计及数据分析能力(JMP/JMP Pro 优先)。
2) 出色的跨部门协作与风险预判能力,能主导技术难题攻关。
二、岗位职责:
1. 高深宽比通孔技术开发:
1)主导 40nm 及以下节点的高深宽比的 Contact/Via/Hole 工艺整合研发。
2)优化光刻-刻蚀-填充-平坦化全流程工艺,解决关键缺陷(孔洞、缝隙、过度侵蚀等)。
2. 工艺窗口提升:
1)设计 DOE 实验,协同 OPC、光刻、刻蚀、薄膜、CMP 团队,提升高深宽比通孔的均匀性、
良率及可靠性。
3. 跨部门技术整合:
1)与器件研发团队合作,优化 Contact/Via/Hole 结构,从而满足器件性能指标。
2)协同设计部门制定 Design Rules。
4. 量产转移支持:
1) 主导新工艺从研发线向量产线的转移,建立管控标准(SPC)和故障分析流程。
三、福利待遇:
1、行业有竞争力的薪酬(具体薪资面谈);
2、五险一金,国家法定假期,不定期团建活动、年度体检、节日礼品、生日礼金等;
3、行业内专家学者定期座谈、交流和培训,提升专业能力和综合素养;
4、岗位具有较大晋升空间,如工作表现达到公司预期,优先获得公司股权激励等。