1.负责RPS（远程等离子体源）的选型、机台集成、测试和问题排查等。熟悉远程等离子体源的工作原理、腔体材料特性等。
2.进行光谱、质谱的实验诊断分析，提升对RPS解离率的控制，提升工艺结果的一致性等。
3.优化腔体的氧化膜材料特性，提升RPS的lifetime。
Preferred qualifications:
1.硕士及以上3年以上工作经验，电子电气工程、材料、等离子体等专业；
2.熟悉射频原理，了解腔体涂层的原理，有等离子体和材料相互作用经验者优先；
3.善于利用光谱、仿真等手段分析放电机理，有相关产品设计经验、Comsol等仿真软件经验者优先；
4.较好的沟通能力，问题解决能力，抗压能力；