薄膜、扩散、注入、湿法、刻蚀、光刻等
设备维护与故障处理
负责设备日常维护保养(PM)、故障诊断及快速恢复,确保设备稳定运行,满足生产需求。
处理机台报警信号,分析数据异常原因(如气体流量、压力参数),优化设备性能以提高良率。
设备选型与调试
参与新设备选型、安装调试及性能验证,协助工艺工程师完成机台移交(Qualification)。
优化设备参数(如蚀刻速率、沉积均匀性),提升产能与效率。
数据管理与协作
监控设备传感器数据(FDC系统),设定报警阈值并分析数据趋势,支持工艺问题溯源。
与工艺工程师(PE)、良率团队协作,解决良率缺陷问题,参与跨部门项目(如Costdown、parts寿命改善)。
文档与培训
编写设备操作手册、维护流程(SOP/WI),制定培训计划并指导操作人员。
总结设备异常案例(Lesson Learn),推动标准化流程落地。
薄膜、扩散、注入、湿法、刻蚀、光刻等
工艺开发与优化
负责半导体芯片或封装工艺的开发、调试与验证,包括光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键步骤。
优化工艺参数,提升良率及生产效率,降低材料消耗成本。
参与新设备、新材料的导入及工艺流程标准化制定。
生产异常与质量管控
分析处理产线异常问题,制定纠正预防措施,确保工艺稳定性。
监控SPC(统计过程控制)数据,提升CPK(制程能力指数)及OOC(超出控制)率。
解决客户投诉,主导产品可靠性试验及失效分析。
文档与培训
编制工艺文件(如SOP、控制计划)、实验报告及技术方案。
培训操作人员,推动工程标准化进程。