岗位职责:
1.负责FAB光刻模组track工艺技术工作;
2.推动和制定所负责track机台的设备操作、recipe编辑、monitor控制计划文件编写,并持续改进;
3.进行新材料/新工艺研究,引入和评估新材料,新工艺,新机台,新功能;
4.产品layer日常维护和品质异常的及时分析和处理;
5.参与新产品的工艺转移或开发,负责Track工艺部分的可行性评估、工艺条件建立和优化;
任职资格:
1.微电子、电子工程、材料、化学、电子技术相关理工科等专业本科及以上学历;
2.3年以上FAB光刻工艺经验,有8/12寸功率器件FAB经验优先;
3.熟悉光刻track工艺原理和应用,track工艺开发、工艺试验、异常处理等相关技能;
4.熟悉主流量测机台如OVL/CD/THK/particle设备的基本原理和应用;
5.熟悉半导体晶圆厂MES/SPC系统的应用和运行逻辑;
6.了解半导体晶圆厂FDC,YMS,APC等高阶CIM模块的应用;