设备运营与维护:负责BFI/DFI设备的日常运营,确保设备稳定运行,及时处理设备故障,提高设备稼动率。同时,撰写设备操作、Recipe Setup的SOP,并对相关人员进行培训,实施过程监控。
• 工艺优化与测试:进行新产品及量产品测试Recipe的Setup与Fine - tuning,致力于提升检出率。对过程中的Defect进行前后站点匹配溯源,不断改善漏检情况。此外,还需与过程监控、整合人员、工艺科室等沟通,制定测试精度、频率、Wafer Map等。
• 数据收集与分析:在产品测试过程中,确保测试准备工作充分,严格控制测试过程质量,收集测试数据并进行统计分析,为工艺优化提供数据支持。
• 问题解决与协同:主导解决设备及测试工艺中出现的难点问题,分析问题产生的机理,探讨并制定规避方案,协同相关部门组织实施改善措施,建立预防反馈机制,以不断提升产品质量和生产效率。