岗位职责:
工作内容:
1、负责8寸,12寸外延片生长工艺开发工作,包括工艺调试,搜集数据,数据分析,数据汇总;
2、负责处理外延机台出现的异常问题,分析外延生长工艺参数,提高工艺稳定性;
3、负责研发维护外延工艺,提高晶体外延生长的质量和过程良率;
4、负责外延线的工艺文件、过程管控、文件建立及维护;
任职要求:
1、本科及以上学历,材料科学与工程、电子科学与技术、半导体物理、化学工程等相关专业
2、7年以上半导体行业外延工艺开发或技术支持经验,熟悉 8 寸 / 12 寸单晶硅外延片生产流程。
3、核心技能
精通外延生长工艺(如 Si、SiGe、SOI 等),熟悉温度、压力、气体流量等参数调控逻辑。
掌握半导体材料表征技术(如 XRD、SEM、四探针等)及缺陷分析手段。
4、工艺开发:能独立完成外延工艺调试、数据建模与良率优化,主导新工艺量产导入。
异常处理:快速定位机台故障及工艺波动原因,制定标准化解决方案。
文件体系:编写并维护工艺规范、SOP 及过程管控文件,确保符合 ISO/TS16949 体系要求。