上海张江高科技园区开发股份有限公司-上海陛通半导体能源科技股份有限公司

"上海陛通半导体能源科技股份有限公司于2008年11月在上海张江高科技园区注册成立，是一家专业从事高端半导体薄膜沉积设备研发、生产、销售为一体的高新技术企业。在上海、苏州、武汉等地设立了研发制造和技术服务中心。公司制造中心总面积达22000平方米，产能达到每年120台套生产。

公司深耕集成电路前道工艺三大关键设备之一的薄膜沉积设备研发制造领域16年，自主设计研发生产的纳米级薄膜沉积设备，包括化学气相沉积CVD、射频和磁控溅射物理气相沉积PVD，已经应用在国内多家大型头部集成电路芯片生产企业。截止2025年8月，上海公司共获得205项原创性发明专利和实用新型专利，其中发明专利和国际专利占比50%。现有员工近300人，博士、硕士和大学本科学历工程师占比88%。

公司推出的半导体业内四大全球首创薄膜沉积技术和相应的沉积设备：包括“小亮旋转”动态晶圆沉积技术、第三代UV-CVD技术、动态静电吸盘沉积技术、晶圆非对称反翘曲技术对全球现代纳米级薄膜沉积技术做出了极大贡献。四大全球首创技术呈现出的各项性能指标均超越欧美同类设备。

产品解决方案覆盖三大核心市场：

1、存储芯片领域

2、逻辑及功率芯片领域

3、先进封装及XR领域

在荣誉资质方面，公司先后取得上海市首批“技术先进型服务企业”、国家高新技术企业、上海市科技小巨人培育企业、上海市专精特新中小企业，国家级专精特新小巨人，公司研发部先后被认定为浦东新区研发机构、上海市企业技术中心，并在管理体系建设方面，公司通过了ISO质量体系、知识产权管理体系认证。

随着公司营收持续增长，市场认可度逐步提升，已成为国内半导体薄膜设备领域中坚力量。公司将坚持以技术创新为立足点，持续提升产品、服务、市场以及品牌等各方面的客户满意度，持续加大创新力度，实现“半导体设备国产”目标！