1.负责大功率推挽式电子管射频电路(以FU-13等大功率电子管为核心)的方案设计、原理图绘制)、元件选型与参数核算,ICP等离子体设备的射频驱动电路,确保电路拓扑合理性、功率达标及频率稳定性(13.56MHz等工业标准频率)。
2.主导推挽式电子管电路(含电源系统、振荡回路、功率汇总、阻抗匹配网络)的原型搭建、调试与优化,解决双管配对一致性、高压供电稳定性、阻抗匹配效率、高频谐波抑制等关键技术问题,保障射频功率高效传输至ICP感应线圈。
3.负责ICP等离子体系统射频驱动部分与负载(感应线圈、石英腔体、真空/气体系统)的协同设计与适配,优化等离子体产生的均匀性、密度及稳定性,适配工业级薄膜沉积、材料刻蚀、表面改性等应用场景。
4.制定电路调试流程、安全操作规范及测试方案,开展高压安全(6-8kV)、电磁兼容、散热性能等专项测试,确保设备符合工业安全标准,解决调试及量产过程中的电路相关技术故障。
5.必须有ICP等离子设备开发经验。