1、承担光刻机减振方案设计等相关工作;
2、对光刻机减振系统展开多刚体结构建模、执行器系统建模、测量系统建模、控制系统建模，多轴复杂系统控制策略设计仿真分析工作;
3、对减振系统关键器件进行选型及设计工作，如减振器、伺服阀、传感器、支撑结构等;
4、对光刻机的振动故障进行诊断，定位故障源，并根据振源的实际情况设计相应的方案，衰减机械结构的振动;
5、读书/工作期间参与过精密设备减振开发工作者优先。
岗位要求
1、机械工程、机电一体化等相关专业，博士学历;
2、熟练掌握机械振动与控制相关的理论，以及常用的振动信号处理方法，至少熟悉一种振动测试设备;
3、熟悉MATLAB、Simulink等软件;
4、熟悉机械原理，能看懂机械图纸;
5、良好的英文能力，能快速阅读英文技术文献。