设备维护和保养‌：负责CMP设备的日常维护和保养工作，包括设备的清洁、润滑和检查，确保设备处于良好状态‌1。
‌故障处理‌：负责设备在线突发故障的快速维修工作，以保证产品质量，节约生产成本。
‌设备选型、安装和调试‌：参与工艺设备的选型、安装调试，与供应商沟通，确保设备正常运行‌12。
‌文档编写‌：根据经验及各种异常之惯用处理方法编写相关文书，编写相关设备作业的指导书‌12。
‌倒班安排‌：配合日夜班倒班安排及机台异常处理，接受轮班/值班工作和穿无尘服工作‌。