系统运行与维护
负责超纯水系统、电力系统、空调系统、洁净室系统、特气及化学品供给系统等所有公用设施系统的日常运行、巡检和维护。制定并执行预防性维护计划，监控系统参数，及时处理异常情况。
故障诊断与应急处理
快速响应公用设施系统的故障报警，诊断故障原因并组织抢修，最大限度减少对生产的影响。编制故障报告，制定并演练应急预案。
项目管理
参与新厂房建设、扩建或改造项目的规划、设计、施工和验收，确保设施符合半导体制造的高标准要求。管理项目进度、质量和成本，协调施工单位和内部资源。
洁净室环境控制
负责洁净室的建设、认证、升级和日常运维，确保洁净度、温湿度、压差等关键环境参数符合生产工艺要求。实施严格的洁净室管理规范，管控人员、物料进出。
能源与环境管理
负责能源的日常管理、监测和分析，推动节能降耗。监督废水、废气、固体废弃物的处理，确保符合环保法规要求，协助建立和维护环境管理体系。
安全管理
确保厂务设施的操作和维护符合安全规范和法规要求，识别并消除安全隐患，参与安全生产检查和安全事故调查。负责消防系统、安防系统的运行和维护。
技术文件管理
编制、更新和完善各项厂务设施的操作规程、维护手册和应急预案，管理厂务设施相关的技术图纸、文件和记录。