岗位职责：
1.独立负责EFEM子系统设计（如晶圆传输机械手模块、腔体气密结构）。
2.主导关键部件选型（直驱电机、精密导轨、真空密封件）及供应商技术对接。
3.解决设计中的高精度定位（±0.1mm）、微振动抑制、颗粒控制等工程问题。
4.主导设计评审并输出DFEMA报告，确保符合SEMI S2/S8安全标准。
5.指导初级工程师完成模块化设计任务。
任职要求：
1.3-5年半导体设备机械设计经验（EFEM/FOUP Handler/真空设备优先）。
2.精通精密运动机构设计、热变形补偿及防微振结构优化。
3.掌握CFD气流模拟（EFEM内部洁净气流优化）或有限元静力学分析。
4.熟悉半导体设备EMC规范及静电防护（ESD）设计要点。
5.具备跨部门协作能力（与电气、软件团队协同调试传输系统）。