主要职责：
1. 核心子系统设计与开发：
o 负责ALE设备的需求分析、方案设计与详细开发。重点方向包括但不限于：
 等离子体源与射频系统： 设计与优化适用于ALE循环工艺的脉冲/连续波等离子体源（ICP/CCP）、高速射频匹配网络及功率传递系统。
 反应腔室与气路系统： 设计高均匀性、低记忆效应的反应腔室结构；开发适用于高活性、低蒸汽压前驱体的精确配气、输送与净化系统。
 基台与温控系统： 设计用于ALE工艺的高精度静电卡盘（ESC）、多区温控系统及高速晶圆传送接口。
 真空与压力控制系统： 设计满足快速压力循环（毫秒级）要求的真空系统架构与高速压力控制回路。
2. 系统集成与原型机调试：
o 主导或深度参与研发原型机的机械、电气、软件及工艺模块的系统集成与联调。
o 制定并执行全面的功能、性能与可靠性测试方案，收集数据，通过建模与实验相结合的方式，诊断并解决系统级交互问题。
3. 前沿技术研究与创新：
o 跟踪学术与产业界最新进展，对突破现有ALE设备性能瓶颈的新技术、新方法、新部件进行前瞻性研究和概念验证。
4. 跨部门协作与知识转移：
o 与工艺研发团队紧密互动，深刻理解工艺物理与化学过程对设备提出的边界条件，将工艺需求“翻译”为设备设计指标。
o 编制详尽的设计文档、测试报告和技术规格书，支持产品由研发向工程化和量产阶段的顺利转移。