仪器名称： X 射线光电子能谱仪（ X - Ray Photoelectron Spectroscopy .简称 XPS )

仪器简介：仪器装备有 Mg / Al 双阳极 X 射线源， AI 靶单色化的 X 射线源，LB6灯丝电子枪，离子枪，电荷中和系统， XYZq 四维方向运动带变温样品台（-150℃~600℃), CCD 成像系统等。

主要功能：利用 X 射线光电子能谱术（ XPS ）或俄歇谱能术（ AES ）定量分析材料的组分及其组成元素的化学状态。该二合一分析仪器通过对样品同一区域的收谱和成像，反映其表面层的组分及其分布以及组分在表面以下随深度的变化。XPS 可进行表面层（深度1-3 nm )的大面积（0.8x2mm）或选区（最小选区15μ m ）组分分析，其成像 XPS 的空间分辨率＜3um; AES 的表面层分析深度更浅，为0.5-2.5nm。

应用领域：广泛应用于聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料矿石等各种材料的组成元素及其化学状态的分析，以及材料的组成元素及其化学状态随温度的变化过程等研究。