1、系统设计与规划： 参与精密光学系统设计，分解指标并规划实现路径，响应需求优化系统与整机性能。
2、高效搭建与装调： 主导光学系统搭建集成，确保半导体量检测设备（明/暗场、套刻、颗粒）装调与测校达标。
3、测试分析与校准： 建立测试模型，执行系统测试、校准与标定，保障测量高效、准确、鲁棒。
4、性能优化与问题解决： 分析误差与性能数据，制定优化方案；主导解决集成、装调、测试及运行中的复杂技术问题。