工作职责:
1、主导半导体设备整机/关键复杂部件的污染控制(如颗粒污染、化学污染、材料释气等)的指标分解、方案设计及测试验证,设计相关的测试装备及测试验证方法,对整机系统的污染指标整体负责;
2、制定主动/被动抑制真空系统内颗粒物传输、化学物吸附与释放的设计方案,确保设备整机/关键部件始终满足超洁净管控要求;
3、从事精密设备中微环境控制以及真空系统设计,保证设备中关键区域的温度、压力、污染等关键环境指标的达成,实现精密设备中的超洁净真空与精密环境控制;
4、负责真空与环控领域的平台能力建设,开展行业技术趋势分析、技术合作以及参加相关行业标准会议等工作,并能够针对工作中的成果进行相关规范、数据库、专利等平台能力交付。
岗位要求:
1、本科及以上学历,真空、物理、化学、大气、环境、机械工程、工程热物理、材料工程等理工科专业优先;
2、1年以上污染控制设计相关开发工作经验优先;
3、熟悉颗粒检测、化学物检测、材料释气相关的国际标准,设计流程和规范等;
4、熟悉真空、释气、颗粒、化学物等知识,熟悉产品环境及测试规范;
5、掌握颗粒检测、化学物检测设备的组装、集成、测试、评价分析的方法等。