1. 负责半导体设备关键结构材料的选型、验证与可靠性评估；
2. 建立设备用金属、陶瓷、塑胶材料数据库，支持设计优化与成本控制；
3.研究材料在腐蚀、等离子体、热循环条件下的失效机理；
4.推动新材料（如高纯铝、镍基合金、SiC、AlN等）在设备中的应用；
5.支持供应商开发与材料质量标准建立；