1、负责高精密装备系统方案设计和模型仿真，分解性能指标；
2、负责整机系统性能的测试方案设计和集成验证，完成系统和子系统实验数据建模分析，诊断和优化系统性能；
3、负责半导体设备系统的集成工作，收集并反馈现场集成问题，排除设备故障，参与半导体设备测试平台和半导体软件的升级活动；
4、负责执行高精密装备的功能和性能调试、装备验收、装备故障诊断和问题闭环；