岗位职责
1.电镀工艺开发与优化“
负责 MEMS 悬臂梁的电镀工艺开发,包括镍、金、镍钨合金等材料的沉积,精准调控镀层厚度、内应力及微观结构(如晶粒尺寸、致密性)。
设计电镀液配方,优化电流密度、温度、pH 值、添加剂等参数,解决镀层结合差、厚度不均、烧焦、孔内无镀等缺陷。“
提升悬臂梁电镀的良率与可靠性(如耐腐蚀性、疲劳强主导 DOE 实验设计,疲劳强度)。
协同改进镀后去应力退火工艺,控制悬臂梁残余应力释放所致变形。
2.设备操作与工艺整合
操作和维护半导体级电镀设备(如 山本电镀机台),完成设备Setup、Recipe 调试及 SPC 管控。
协同封装团队参与 MEMS 器件全流程工艺设计(光刻、刻蚀、电镀、封装)确保悬臂梁电镀与整体工艺兼容性。
3.质量管控与失效分析
制定电镀工艺质量控制标准,利用X射线测厚仪、金相显微镜、盐雾试验机等设备检测镀层性能。
分析生产异常及失效原因(如镀层脱落、气泡、沙点),制定纠正措施并推动良率提升。
优化种子层施镀工艺,保障籽晶与镀层间界面质量,降低种子层孔洞密度与服役过程剥落率。
4.技术研发与跨部门协作
跟踪行业新技术(如 TGV/TSV 电镀、RDL、Bumping),推动工艺创新与成本优化。
与设计、生产、测试部门协作,解决 RF MEMS 开关器件的电镀技术难题。
5.技术文档与团队培训
编制工艺文件(作业指导书、标准流程、分析报告),培训生产线人员规范操作
任职资格
硬性要求
学历: 硕士及以上学历,电化学、材料科学、微电子、机械工程、航空航天等相关专业
经验: 10年以上半导体或 MEMS电镀工艺开发经验,精通悬臂梁等精密结构电镀。
专业技能:
精通电镀液组分配置、添加剂作用机制及槽液维护(成分分析、CVS测试)。“熟悉电镀设备(水平电镀/杯式电镀机)操作、维护及 Recipe开发。
掌握镀层微观尺寸与应力调控技术,具备镀层缺陷的微观分析能力(如 SEM、纳米压痕、结合力测试)。
语言:英语六级及以上,可熟练阅读技术文献、撰写报告
软性要求
团队协作能力突出,能有效沟通生产、研发、质量等多部门需求。
学习能力强,对新技术敏感,具备创新思维和解决复杂问题的能力。
严谨细致,责任心强,适应半导体生产环境的高标准要求。
原标题:《电镀工艺专家》