岗位职责及工作内容
1、独立完成镀膜站工单。包括镀膜前、后镜检,样品镀膜,镀膜后厚度、折射率、应力、方阻等表征,记录流片参数等;
2、独立完成日常沟通工作。包括评估客户需求、向PIE反馈制单异常与沟通解决思路、与前后工序工程师沟通实验方案等;
3、完成现有镀膜设备(磁控溅射、EB、PECVD)工艺开发,包括新增金属、金属化合物(如氧化钛、氮化铝、氧化铪等)、非金属材料(氧化硅、氮化硅、非晶硅、DLC等)等;
4、完成现有镀膜工艺优化,如通过更改工艺参数,调整表面粗糙度、不同基底材料(硅片、石英片、蓝宝石片、多膜层结构等)膜层应力、不同波段下折射率、表面结晶状态等;降低单步沉积时间,优化工艺节拍;
5、完成设备日常点检,处理常规的设备报警(起辉异常、气体流量异常等);
6、能接受A、B班(12~21点)轮班;
7、其他部门安排的日常工作;
任职资格
1、大专及以上学历。理工科背景,材料、微电子、光电、集成电路、MEMS等相关专业优先;
2、具有一定的镀膜设备相关专业知识。实际操作过如磁控溅射、EB、PECVD等镀膜设备,有相应工艺开发及优化工作经验优先;
3、加分项:有黄光、湿法、干法、封装等经验,或多工序流片经验,或膜系结构设计经验;
原标题:《镀膜技术员》