工作职责：
1、负责离子注入机的日常维护、故障诊断与排除，确保设备CPK等关键指标稳定，减少工艺缺陷，提高产品良率。
2、支持SOI等相关技术的工艺开发，参与新机台的工艺调试、Recipe编辑与验证。
3、主导或参与新设备的安装、调试与验收全过程，确保设备正常交付使用。
4、制定设备维护保养、操作SOP等文件，并开展部门内员工的教育培训工作。
任职资格：
1、5年相关工作经验；
2、掌握trident平台的核心结构（双磁铁带状束流架构、能量纯化模块、低温注入功能）及制程特点（多工序兼容性、剂量控制）；
3、具备独立开机调试能力（设备及工艺）；
4、熟知Implant设备的厂务动力及需求（动力、特气、高真空、注入温控系统）；
5、通过专业的设备维护，直接保障生产线的高效、稳定运行，提升产能。