1.负责镀膜(APCVD/LPCVD/CVD/ALD/PECVD)工艺开发及优化,提升CVD制程能力和品质.
2.分析处理与薄膜相关的工艺异常,器件失效,成品率提升等
3.负责对应CVD新机台,新工艺、新技术和新产品验证,为项目提供技术支持并进行DOE评估验证.
4. 面向未来研究半导体薄膜新材料,纳米镀膜新工艺,低维材料性能新表征
任职要求:
1.硕士或博士学历,无机材料镀膜,纳米制造技术, 物理,固体电子学,热处理,晶体结晶与力学,低温等离子体,微流体,射频电源,传热学等专业方向优先
2.有3年以上Array CVD工作经验,具备PECVD、SiN、SiO等相关工艺开发经验;
3.熟悉AKT CVD设备和工艺原理,能处理设备和工艺异常,能独立分析调整膜质并达到器件要求, 会使用office工具和minitab进行数据分析,撰写分析总结报告;诚实严谨,能吃苦耐劳,具有极强的敬业精神和责任心
4.具有高校/研究所完整纵向课题经验者可放宽学历要求; 有半导体行业,面板企业 FAB 经验者可放宽学历要求
5.熟悉CVD(APCVD, PECVD TFE)工艺开发流程,具备良好的工艺recipe开发能力,能够针对性地编写沉积recipe;特别是熟悉 SiON, SiO2 以及 SiNx 的工艺条件,具备独立开发相应 recipe 的能力更优先考虑,可以放宽条件。
流利的英文读写,交流。