一、工作职责
1.研究MEMS材料特性的监测方法,包括监测结构的设计、测试方案和数据分析;
2.研究MEMS材料的微观结构对其材料特性(力、电、热等)和可靠性(腐蚀、断裂等)的影响;
3.从材料机理方面研究MEMS器件的功能异常或可靠性问题。
二、要求
1.硕士及以上学历,MEMS、物理或半导体材料专业;
2.精通半导体材料的力、电、热学特性,了解常用的半导体材料的在线表征方法;
3.熟悉半导体工艺流程,有2年以上MEMS工艺线的工作经验;
4.精通晶体(单晶、多晶)薄膜材料的相关理论,或金属薄膜材料的相关理论;
5.熟悉常用的材料微观结构表征手段(比如TEM、XRD、Raman光谱等);
6.英语熟练,有熟练的英文文献检索和阅读能力;
7.学习能力强,具有较强的问题解决能力、良好的沟通能力和团队协作能力、情绪稳定。