负责无尘室工艺机台的附属设备（Pump/Chiller/Local Scrubber/AC Rack)的日常巡检、运行维护、维护管理。
1、负责附属设备的SET UP与TURN ON工作；
2、参与附属设备厂商的验机，按时完成设备验收；
3、设备PM流程与标准书的指定，优化PM流程提升PM成功率；
4、设备故障原因分析及故障解决方案的制定，并完成故障处理报告；
5、维护设备稳定性，提高生产效率；
6、设备日常巡检和不合理改善；