PRINCIPAL ACCOUNTABILITIES 主要权责

1、负责刻蚀（Dry Etch）设备move in/set up，确保设备的稳定运行和Up Time的提升；
2、负责刻蚀（Dry Etch）设备改造及维护，降低生产成本；

3、负责刻蚀（Dry Etch）设备维护体系的建设与设备整个生命周期管理；

4、负责刻蚀（Dry Etch）设备备件与耗材管理；

5、负责刻蚀（Dry Etch）设备PM文件，异常处理文件，开关机等文件的撰写；

6、负责配合工艺，完成新工艺开发、设备改造及参与良率提升；

6、负责配合工艺，完成新工艺开发、设备改造及参与良率提升；

7、负责保养成功率提升，机台保养人力/手法优化，保养失败原因分析等；

8、协调保养计划实施，沟通协调生产排程/工程部门及安排设备维护人力执行设备保养，保障机台能顺利生产；

9、附属设备 Move in, 装机进度跟进，残件追踪，设备验收，驻厂厂商FAB作业（装机调试、异常处理、Pump更换）规范管理；

10、Pump Overhaul管理：制定合理run time安排pump下机出厂Overhaul, 针对各厂商Overhaul 返厂的pump ，run time及异常率分析，产生Option Prats 现场沟通与判断及原因分析；

11、领班/技术员管理：各组日常事务及出勤状况管理，对保养技术员进行A.B.C三级技能认证，绩效考核；

12、车间管理：负责所属保养区域6S管理，工治具管理。

POSITION SPECIFICATION任职要求

EDUCATION 学历

大学统招本科及以上学历，自动化，机电一体化，精密仪器，机械，电气等相关理工科专业

EXPERIENCE 经验

8年以上刻蚀（Dry Etch）设备维护经验

OTHER ESSENTIAL ATTRIBUTES

其他要求

1、有8年以上半导体FAB中刻蚀（Dry Etch：RIE, O2 Asher, DRIE等）设备维修保养工作经验；

2、对刻蚀（Dry Etch）设备的结构&工作原理熟悉，常见设备故障处理&设备常规及疑难PM均可独立完成；

3、较深入了解设备的真空、电子、射频等离子体及水电气路系统；

4、极强的动手能力和沟通协调能力，能够独立提出改装机台的可行性技术方案并实施；

5、能熟练应用Word、Excel、PPT等办公软件；具有一定的写作能力，能熟练输出工作总结、汇报、案例等文档；

6、英语四级及以上，听读写流畅，没有困难；

7、工作认真细致，有创新意识，有团队精神。