工作职责:
工艺优化与稳定: 负责特定薄膜沉积工艺(如PECVD、LPCVD、ALD、PVD、CVD等)的日常监控、异常处理、配方优化及持续改善,确保工艺窗口稳定,满足关键参数(厚度、均匀性、应力、折射率等)的严苛要求。
良率提升: 主导与薄膜相关的缺陷分析与良率提升项目,通过DOE实验设计、SPC数据分析和根本原因调查,解决薄膜污染、颗粒、粘附性差、电性不良等复杂问题。
新工艺/材料开发: 参与或主导新薄膜材料、新沉积工艺或新设备机台的评估、开发与导入工作,完成从实验到量产的完整验证。
设备效能提升: 与设备工程师紧密合作,分析设备状态对工艺结果的影响,参与设备PM优化、改造及能力提升项目,提高设备综合效率(OEE)与工艺一致性。
技术文件与培训: 编写及维护工艺操作规范、技术报告和失效分析文档;负责对技术员及初级工程师进行专业技术培训。
跨模块协作: 与工艺整合、刻蚀、清洗、量测等模块工程师协作,解决涉及薄膜的工艺集成问题,确保整体工艺流的顺畅与优化。
任职资格:
统招本科及以上学历,微电子、材料科学、物理、化学、化工等相关专业。
5-10年 在半导体晶圆制造厂薄膜工艺模块的工艺工程(PE) 经验,必须具备12英寸FAB量产经验。