岗位职责:
1、制定并执行CMP设备的预防性维护(PM)计划
2、完成日常点检、定期保养、耗材更换(抛光垫、研磨头薄膜、保持环、喷嘴、过滤器、传感器、管路等)。
3、确保设备各项参数(压力、转速、流量、温度)符合工艺规格,维持设备洁净度
4、快速响应设备宕机(Down)或报警(Alarm),进行高效精准的故障定位
5、与工艺工程师紧密协作,理解工艺需求
6、领导安排的其他事宜
岗位要求:
1、大专及以上学历,3年以上半导体Fab CMP设备维护工程师实际经验
2、熟练运用逻辑树分析、仪器(万用表、示波器)和诊断软件,快速定位复杂机电一体化系统故3、 能读懂机械图纸、气路图、电路图,进行精密机械拆装、部件更换和基本电路检修。