岗位职责:
1、设备运维
负责光刻机(如尼康i11、DNS、MARK 7等)及匀胶显影设备的安装调试、日常点检、维护保养及故障处理。
制定设备维护规范和维修流程,优化维护计划,保障设备稳定运行。
2、工艺支持
配合工艺工程师优化光刻工艺参数,调试设备以满足研发需求。
监控设备运行数据(SPC分析),处理生产过程中的异常情况。
3、文档与培训
编写设备操作指导书(SOP),并对技术员、操作员进行岗位培训。
管理设备档案及备件耗材
任职要求:
1、学历:本科及以上,机电一体化、自动化、微电子、材料学等专业优先。
2、经验:3-5年光刻设备运维经验,熟悉主流光刻机型号。
3、技能:
设备电路与机构维修能力;
掌握DOE实验设计及数据分析工具(MATLAB);
熟练使用L-Edit等光刻掩膜版设计软件